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1光刻胶是一大类具有光敏化学作用或对电子能量敏感的高分子聚合物材料,是转移紫外曝光或电子束曝照图案的媒介光刻胶的英文名为resist,又翻译为抗蚀剂光阻等光刻胶的作用就是作为抗刻蚀层保护衬底表面光刻胶。1光刻胶...