上海临港新片区3月3日发布集成电路工业专项规划(2021-2025),提出推进集成电路配备工业规模化开展,要点支撑12英寸高端刻蚀、清洗、离子注入、光刻、薄膜、湿法、热处理以及光学量测等设备的研制和工业化。
华创证券指出,据CounterpointResearch猜测,全球抢先的代工厂有望在2021年至2023年进行大规模的半导体设备本钱出资。跟着国内晶圆厂建造高潮降临,我国半导体资料商场将迎来迸发。大硅片是半导体资料的最大细分商场,国产化远景非常宽广。
北方华创产品触及ICP刻蚀、PVD设备、氧化分散设备、清洗设备等。
至纯科技是国内半导体清洗设备龙头。
其他公司:长川科技、长电科技。
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